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基于液态前驱体 CVD 的 2 英寸 MoS <sub>2</sub>晶圆 p 型 V/Nb 替位掺杂及高性能器件-四川大学学报(自然科学版)2026年05期

基于液态前驱体 CVD 的 2 英寸 MoS 2晶圆 p 型 V/Nb 替位掺杂及高性能器件

作者: 张西卡,刘锦绣,陈相宇,文兆宽,谭超,王泽高 字体:小   中   大

王泽高,四川大学材料学院教授,博士生导师,副院长,国家级重要人才计划青年项目入选者,四川省科协海智计划特聘专家。聚焦二维半导体晶圆制备与传感器件开展研究,承担了包括国家级自然科学基金、国家某专项重点项目课(试读)...

四川大学学报(自然科学版)

2026年第05期