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基于UWB技术的晶圆传输机器人定位优化算法-现代电子技术2026年12期

基于UWB技术的晶圆传输机器人定位优化算法

作者:刘傲林 荆学东 字体:小   中   大

DOI:10.16652/j.issn.1004-373X.2026.12.002

中图分类号:TN249-34

文献标识码:A

文章编号:1004-373X(2026)12-0010-06

0 引言

目前,对于鉴定晶圆机器人搬运平台的定位技术能力高低有多个参数指标,满足这些指标(试读)...

现代电子技术

2026年第12期